首先，硅碳棒加熱后形成濃密的氧化硅膜，從而生成抗氧化保護(hù)膜，延長(zhǎng)了硅碳棒的壽命。在使用硅碳棒的過(guò)程中，可以使用涂層用于氣體的爐內(nèi)。廣東半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐來(lái)防止硅碳棒的裂化，其次在使用硅碳棒的過(guò)程中，硅碳棒表面的溫度越高，表示硅碳棒的電流量越大。一般硅碳棒的有效發(fā)熱長(zhǎng)度在攝氏度以內(nèi)。廣東半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐硅碳棒表面的實(shí)際功率是由于爐的內(nèi)溫度和硅碳棒表面的溫度決定的。硅鉬棒電流強(qiáng)度。在使用硅碳棒的時(shí)候，供電線與元件間必須有良好的接觸，避免電阻發(fā)熱過(guò)多從而造成燒毀接線。由于硅鉬棒運(yùn)行過(guò)程中熱膨脹而造成電源線松弛，應(yīng)在使用前把電源線接頭擰緊。

不完全退火不完全退火是將鐵碳合金加熱到Ac1-Ac3之間溫度，達(dá)到不完全奧氏體化，隨之緩慢冷卻的退火工藝。不完全退火主要適用于中、高碳鋼和低合金鋼鍛軋件等，其目的是細(xì)化組織和降低硬度，保溫后緩慢冷卻。廣東半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐完全退火重結(jié)晶退火完全退火應(yīng)用于平衡加熱和冷卻時(shí)有固態(tài)相變(重結(jié)晶)發(fā)生的合金。廣東半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐其退火溫度為各該合金的相變溫度區(qū)間以上或以內(nèi)的某一溫度。加熱和冷卻都是緩慢的。合金于加熱和冷卻過(guò)程中各發(fā)生一次相變重結(jié)晶，故稱為重結(jié)晶退火，常被簡(jiǎn)稱為退火。

在鑄造加熱爐內(nèi)，進(jìn)步金屬的加熱溫度，能夠下降變形阻力，但溫度過(guò)高會(huì)引起晶粒長(zhǎng)大、氧化或過(guò)燒，嚴(yán)峻影響工件質(zhì)量。在熱處理過(guò)程中，假如把鋼加熱到臨界溫度以上的某一點(diǎn)，然后突然冷卻，就能進(jìn)步鋼的硬度和強(qiáng)度；廣東半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐假如加熱到臨界溫度以下的某一點(diǎn)后緩慢冷卻，則又能使鋼的硬度下降而使韌性進(jìn)步。廣東半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐金屬或物料加熱時(shí)吸收的熱量與供入爐內(nèi)的熱量之比，稱為爐子熱效率。連續(xù)式爐比間斷式爐的熱效率高，因?yàn)檫B續(xù)式爐的出產(chǎn)率高，并且是不間斷作業(yè)的，爐子熱制度處于安穩(wěn)狀態(tài)，沒(méi)有周期性的爐墻蓄熱丟失，還因?yàn)闋t膛內(nèi)部有一個(gè)預(yù)熱爐料的區(qū)段，煙氣有些余熱為因?yàn)闋t膛內(nèi)部有一個(gè)預(yù)熱爐料的區(qū)段，煙氣有些余熱為入爐的冷工件所吸收，下降了離爐煙氣的溫度。以完成爐溫、爐氣氛或爐壓的主動(dòng)操控。

鋼的重結(jié)晶退火工藝是：緩慢加熱到亞共析鋼或共析鋼或過(guò)共析鋼以上三十到五十?dāng)z氏度，保持適當(dāng)時(shí)間，然后緩慢冷卻下來(lái)。廣東半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐通過(guò)加熱過(guò)程中發(fā)生的珠光體或者還有先共析的鐵素體或滲碳體轉(zhuǎn)變?yōu)閵W氏體以及冷卻過(guò)程中發(fā)生的與此相反的第二回相變重結(jié)晶，形成晶粒較細(xì)、片層較厚、組織均勻的珠光體或者還有先共析鐵素體或滲碳體。廣東半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐退火溫度在亞共析鋼使鋼發(fā)生完全的重結(jié)晶者，稱為完全退火，退火溫度在Ac1與Ac3之間 亞共析鋼或Ac1與Acm之間過(guò)共析鋼，使鋼發(fā)生部分的重結(jié)晶者，稱為不完全退火。

若快切閥顯示為黃色，換向閥顯示為紅色X，即是行程不到位，檢查行程是否脫離設(shè)備，若無(wú)脫離，可打開行程開關(guān)，檢查行程內(nèi)凸輪是否出現(xiàn)不到位情況，適當(dāng)調(diào)整使之弧度處壓上彈簧片即可。廣東半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐若快切閥或換向閥顯示為紅色或綠色之一，可判定其行程正常，排查重點(diǎn)在動(dòng)作部分。檢查動(dòng)作部分時(shí)，先于現(xiàn)場(chǎng)觀察電磁閥兩插頭是否有一個(gè)亮燈，若兩個(gè)都不亮，則為電氣故障。廣東半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐然后，若有一個(gè)亮，可把兩插頭取下，用亮的插頭在兩個(gè)電磁閥插座上輪流插拔試驗(yàn)，若汽缸不動(dòng)作，則為機(jī)械故障。若汽缸動(dòng)作，則為電氣故障。

去應(yīng)力退火是將工件加熱到Ac1以下的適當(dāng)溫度非合金鋼在五百到六百攝氏度，保溫后隨爐冷卻的熱處理工藝稱為去應(yīng)力退火。廣東半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐去應(yīng)力加熱溫度低，在退火過(guò)程中無(wú)組織轉(zhuǎn)變，主要適用于毛坯件及經(jīng)過(guò)切削加工的零件，目的是為了消除毛坯和零件中的殘余應(yīng)力，穩(wěn)定工件尺寸及形狀，廣東半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐減少零件在切削加工和使用過(guò)程中的形變和裂紋傾向。